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      中科富海氣體純化裝置成功投產
      發布時間: 2024-01-24

      來源:中科富海

      近日,中科富海旗下子公司中科富氦(中山)氣體開發有限公司(以下簡稱“中科富氦”)氣體純化裝置成功投產,產出純度高達6N的超純氪氣、氙氣產品。

      氪氣、氙氣在空氣中的含量極少,加之其分離提取工藝要求較高等原因,稱為“黃金氣體”。6N級超純氪氣、氙氣在國內并不多見,其生產技術曾一度被國外企業壟斷。中科富氦采用先進的精餾結合純化工藝流程和設備配置;其主要通過進料排、精餾塔、純化器三套主要設備協同工作,使原料得以高效提純。此外,裝置還配備了膜壓機和真空泵等輔助設備,確保生產過程的穩定性和高效性。最終實現將氪氙原料氣體從5N純度精餾提純至6N純度甚至更高。

      該套裝置設計產能為氪氣6000Nm³/a和氙氣600Nm³/a,可充分滿足臺積電等高端客戶需求。未來,中科富氦將持續深耕低溫精餾和純化工藝,瞄準7N純度標準不斷前進,持續提升產品品質和生產效率,以滿足日益增長的半導體行業需求。

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